A páratartalom- és oxigénelemző központi eleme a cirkónium-oxid oxigénérzékelő. Ez az érzékelő a cirkónium-oxid kerámiák elektrolitikus tulajdonságait használja fel, hogy az érzékelőn átívelő oxigén parciális nyomáskülönbsége alapján elektromotoros erőt hozzon létre, ezáltal lehetővé téve az oxigénkoncentráció mérését. Ezzel párhuzamosan speciális mérési technikákat (pl. impedancia módszer, infravörös módszer stb.) alkalmaznak a gáz nedvességtartalmának pontos meghatározására. Az érzékelő általában tartalmaz egy fűtőberendezést, amely megakadályozza a vízgőz lecsapódását a gázkamrában, és stabil mérést biztosít magas-hőmérsékletű és magas páratartalmú környezetben.
